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Mikrosystemtechnik für den Mittelstand. ∙ +49 3677 799639-0 ∙ kontakt@5microns.de

Unsere Technologien

Mikrotechnologien für den Mittelstand

5microns bietet Ihnen eine umfassende Palette an Mikrotechnologien und nutzt einen hochmodernen Reinraum, um Ihr individuelles Mikrosystem von der Konzeption bis zur Serienfertigung zu realisieren.

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180+ Kunden aus verschiedenen Branchen

Unser umfassender Technologiekatalog

Wir entwerfen, entwickeln, charakterisieren und fertigen Mikrosysteme von der Idee bis zur Serie. Um dabei für Sie stets das beste Ergebnis zu erzielen und innovative Prozesse zu schaffen, greifen wir auf eine große Bandbreite an Technologien der Mikrosystemtechnik zurück. Im Reinraum des Zentrums für Mikro- und Nanotechnologien (ZMN) der TU Ilmenau (Shared-Lab) wenden wir diese Technologien und Prozessabfolgen individuell nach Ihren Anforderungen an.

Auf einen Blick
  • 5microns bietet Ihnen den Zugang zu einer umfassenden Palette an Mikrotechnologien
  • Modernster Reinraum mit über 1200 m² Laborfläche am Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien (ZMN) der TU Ilmenau (Shared Lab)
  • Von Lithografie, Nass- & Trockenätzen über Beschichten, Backend und Analytik bilden wir alle Technologien für Ihr individuelles Mikrosystem und Ihre Prozesskette ab.
  • Alle Prozesse und Prototypen entwickeln unsere Experten gerne mit Ihnen gemeinsam.






Lithografie

Die Lithografie ist die Schlüsseltechnologie der Mikrosystemtechnik. Sie ermöglicht die lokale Bearbeitung von Substraten bzw. darauf befindlichen Schichten. Bei der Lithografie erfolgt die Belichtung einer Schicht aus fotoempfindlichem Lack durch eine Maske hindurch (lokale Abschattung), wodurch die Strukturen von der Maske in den Lack übertragen werden. Der so strukturierte Lack dient in anschließenden Prozessschritten als Maskierung, d. h. zum Schutz darunter liegender Materialschichten. Die Lithografie ist ein äußerst vielseitiges Verfahren und hat als Schlüsseltechnologie die Fortschritte in der Halbleiterherstellung, der Mikroelektronik, der Optoelektronik und anderen Hochtechnologiebereichen ermöglicht.

Nassätzen

Nassätzen ist ein Prozess, bei dem ein selektiver Materialabtrag unter Verwendung flüssiger Prozessmedien erfolgt. Dieser Prozess wird in Kombination mit der Lithografie auf verschiedene Materialien wie Metalle, Gläser und Silizium angewendet, um Ätzfiguren bzw. -muster zu erzeugen. Der selektive Materialabtrag erfolgt durch chemische oder elektrochemische Reaktionen, bei denen das Material in Kontakt mit dem Ätzmedium gelöst und damit entfernt wird. Dieser Vorgang wird in vielen Anwendungen einschließlich der Mikrosystemtechnik, Halbleiterherstellung, Optik und anderen Industriezweigen eingesetzt, um präzise Strukturen oder Muster in den Materialien zu erzeugen.

Trockenätzen

Beim Trockenätzen handelt es sich um einen Prozess, bei dem der selektive Materialabtrag unter Verwendung von gasförmigen Prozessmedien i. d.  R. in einem Vakuumrezipienten erzielt wird. Typischerweise wird ein Plasma erzeugt, um die chemische Reaktion zwischen den gasförmigen Medien und dem zu ätzenden Material zu initiieren. Trockenätzen ist ein wichtiger Schritt bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen und Mikrosystemen, bei denen hochpräzise Strukturen benötigt werden.

Mikrosysteme in ihrem Auftrag

Wir sind Ihr zuverlässiger Partner für maßgeschneiderte Mikrosysteme. Von der Konzeption bis zur Fertigung begleiten wir Sie umfassend. Unsere Experten denken gemeinsam mit Ihnen für Ihren Erfolg.

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Beschichten

Beschichtungstechnologien sind additive Prozesse, bei denen Material auf der Oberfläche eines Substrats aufgebracht bzw. abgeschieden wird. Es gibt verschiedene Verfahren zur Beschichtung, je nach den spezifischen Anforderungen und dem gewünschten Ergebnis.  Abscheidungen aus der Gasphase (engl. vapour deposition) mit den Prozessgruppen chemische Gasphasenabscheidung (engl. CVD – chemical vapour deposition) und physikalische Gasphasenabscheidung (engl. PVD – physical vapour deposition) zählen zu den wichtigsten Beschichtungstechnologien.  Besonders häufig werden metallische oder dielektrische Schichten abgeschieden.

Backend

Backend-Prozesse beziehen sich auf alle Schritte, die sich nach der Herstellung der Chips (dies) auf Wafer-Ebene anschließen. Diese Prozesse sind entscheidend für die Weiterverarbeitung der Chips auf dem Wafer hin zu funktionsfähigen (elektronischen) Bauelementen, die in Produkten wie Prozessoren, Mikrocontroller, Sensoren und anderen elektronischen Geräten verwendet werden. Backend-Prozesse sind von entscheidender Bedeutung, um die Qualität und Zuverlässigkeit der elektronischen Bauelemente sicherzustellen und zu überprüfen, dass sie den spezifischen Anforderungen einer Anwendung gerecht werden.

Analytik

Die Analytik umfasst alle Technologien und Verfahren, mit denen sich die (Zwischen-)Ergebnisse eines Fertigungsprozesses messtechnisch charakterisieren und überwachen lassen. Die Analyse ist von entscheidender Bedeutung, um die Qualität, Präzision und Reproduzierbarkeit in der Fertigung sicherzustellen. In der Mikrosystemtechnik ermöglicht es die Analytik, Prozesse zu überwachen, Qualitätsstandards zu erfüllen und Probleme frühzeitig zu erkennen und beheben.

5microns als Ihr technologischer One-Stop-Shop

5microns bietet den umfassenden Zugang zu Reinraumtechnologien insbesondere für mittelständische Unternehmen. Wir entwerfen, entwickeln, charakterisieren und fertigen Mikrosysteme unter Rückgriff auf Technologien aus den Bereichen Lithografie, Nass- & Trockenätzen, Beschichten, Backend-Prozesse und Analytik. Mit einem Blick fürs Detail stehen wir für Ihr Projekt zur Verfügung. Kontaktieren Sie uns für maßgeschneiderte Mikrosystemlösungen.

Lars Dittrich
Dipl.-Ing. Lars Dittrich

5microns GmbH
Margarethenstr. 6
98693 Ilmenau
Deutschland

Tel.: +49 3677-799639-0
Fax: +49 3677-799639-1
E-Mail: kontakt@5microns.de

FAQ

5microns bietet eine umfassende Palette an Mikrotechnologien, darunter Lithografie, Nass- & Trockenätzen, Beschichten, Backend-Prozesse und Analytik, um innovative Lösungen für die individuellen Anforderungen unserer Kunden zu schaffen. Materialseitig gehören Silicium-basierte Mikrosysteme ebenso zum Portfolie wie die Bearbeitung von Gläsern sowie LTCC-basierte Mikrosysteme.

5microns bietet maßgeschneiderte Mikrosystemlösungen für mittelständische Unternehmen, um Ihre spezifische technologischen Anforderungen zu erfüllen, innovative Produkte zu entwickeln und den Zugang zu den erforderlichen Hochtechnologien zu ermöglichen.

5microns nutzt den hochmodernen Reinraum im Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien (ZMN) der TU Ilmenau und ermöglicht im Sinne eines Shared Labs die Realisierung von Mikrosystemen von der Konzeption bis zur Serienfertigung.

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