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180+ Kunden aus verschiedenen Branchen

Mikrosystemtechnik für den Mittelstand

5microns entwirft, entwickelt, charakterisiert und fertigt Mikrosysteme von der Idee bis zur Serie. Als Ingenieure verstehen wir Ihre Applikation und setzen diese als zuverlässige und flexible Mikrosystemtechniker erfolgreich um. Als Technologiedienstleister ermöglichen wir Ihrem mittelständischen Unternehmen den Zugang zu diversen Mikrotechnologien.

Wir begleiten sowohl Erstanwender als auch Spezialisten von der Erstberatung über den Entwurf und eine Prototypen- oder Kleinserienfertigung bis hin zur Überführung in eine Großserienfertigung oder dem Aufbau eigener Fertigungsressourcen. Mit Rat und Tat stehen wir für Ihr Projekt gerne zur Verfügung. Kontaktieren Sie uns gerne für die gemeinsame Erarbeitung von Konzepten zur Lösung ihrer spezifischen Problemstellung.

Halterung mit Siliziumwafer im Reinraum des ZMN

Unsere Leistungen

Entwurf von Mikrosystemen: Individuelle Lösungen für Ihre Anforderungen

Entwicklung und Charakterisierung von MEMS-Prototypen

Mikrofertigung sowie Prozessierung von Wafern: Präzisionstechnologie für Ihre Mikrosysteme

Beratung im gesamten Produktentstehungszyklus: Von der Idee bis zur Serie

Unsere Dienstleistungen

Auswahl unserer MikroTechnologien

Lithografie

UV-Lithografie
Nanoimprint-Lithografie  (UV-NIL)
Laser-Direktschreiben
Belackung

Nassätzen

Flusssäure (HF bzw. BOE)
KOH
Metallätzer

Trockenätzen

RIE
DRIE
Sputterätzen
HF-Dampf

Beschichten

PVD (Sputtern und Bedampfen)
Reaktivsputtern
LPCVD
PECVD (CCP & ICP)
Oxidation

Backend

Wafersäge
Drahtbonden
Thermo-kompressions-bonden
Löten

Messtechnik

Optische und taktile Profilometrie
REM
Ellipsometrie

Zum Technologie-Portfolio

Mikrosysteme in ihrem Auftrag

Wir sind Ihr zuverlässiger Partner für maßgeschneiderte Mikrosysteme. Von der Konzeption bis zur Fertigung begleiten wir Sie umfassend. Unsere Experten denken gemeinsam mit Ihnen für Ihren Erfolg.

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Das sagen unsere Kunden

Innovative Lösungen, technische Expertise und umfassende Unterstützung – 5microns ist Ihr verlässlicher Partner für Mikrosystemtechnologien. Das sagen auch unsere Kunden und unser Netzwerk.

Anke Siegmeier

OptoNet

“5microns ist eine sehr professionelle, solide, bodenständige und trotzdem junge und dynamische Firma mit hoher Dienstleistungsorientierung. Das hat alles immer Hand und Fuß, sehr verbindlich, sehr schnell – so habe ich das Team von 5microns kennengelernt.”

Dr. Frank Rottmann

Ingenieurbüro

“Die 5microns hat aus meiner Sicht den Riesenvorteil, dass sie auf der einen Seite den Think-Tank der TU Ilmenau im Rücken hat, dass sie sich auch dieses schöne Aufbruchfieber erhalten hat und den Zugang zu den Reinräumen besitzt. – Wenn ich eine modernere Mikrosystemtechnik-Realisierung suche, bin ich bei der 5microns GmbH bestens aufgehoben.“

Matthias Imboden

4K-MEMS Sàrl

“Wir hatten eine großartige Erfahrung mit 5microns. Dank ihres “Can Do”-Ansatzes wird die Arbeit zuverlässig erledigt, was bei der Entwicklung eines neuen Prozessablaufs unerlässlich ist. Sie sind professionell, flexibel und transparent, was uns in kurzer Zeit zu den gewünschten Ergebnissen geführt hat. Ich freue mich auf die weitere Zusammenarbeit mit 5microns in der Zukunft.”

Kontaktieren Sie uns noch heute

Dipl.-Ing. Lars Dittrich

5microns GmbH
Margarethenstr. 6
98693 Ilmenau
Deutschland

Tel.: +49 3677-799639-0
Fax: +49 3677-799639-1
E-Mail: kontakt@5microns.de