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180+ Kunden aus verschiedenen Branchen

Mikrosystemtechnik für den Mittelstand

5microns entwirft, entwickelt, charakterisiert und fertigt Mikrosysteme von der Idee bis zur Serie. Als Ingenieure verstehen wir Ihre Applikation und setzen diese als zuverlässige und flexible Mikrosystemtechniker erfolgreich um. Als Technologiedienstleister ermöglichen wir Ihrem mittelständischen Unternehmen den Zugang zu diversen Mikrotechnologien.

Wir begleiten sowohl Erstanwender als auch Spezialisten von der Erstberatung über den Entwurf und eine Prototypen- oder Kleinserienfertigung bis hin zur Überführung in eine Großserienfertigung oder dem Aufbau eigener Fertigungsressourcen. Mit Rat und Tat stehen wir für Ihr Projekt gerne zur Verfügung. Kontaktieren Sie uns gerne für die gemeinsame Erarbeitung von Konzepten zur Lösung ihrer spezifischen Problemstellung.

Unsere Leistungen

Entwurf von Mikrosystemen: Individuelle Lösungen für Ihre Anforderungen

Wir sind Ihr kompetenter Partner für die Konzeption und Entwicklung von maßgeschneiderten Mikrosystemen. Ausgehend von Ihrem konkreten Bedarf, Anwendungsszenario oder Ihrer ersten Idee erstellen wir für Sie ein kundenspezifisches Mikrosystem. Dabei kann es sich beispielsweise um Sensoren, Aktoren, mikrofluidische Chips oder mikrooptische Chips handeln.

Entwicklung und Charakterisierung von MEMS-Prototypen

Wir unterstützen Sie von der ersten Prototypenentwicklung bis hin zur Charakterisierung Ihrer MEMS-Produkte. Ob Sie lediglich einen einzigen Prototypen oder Testmuster benötigen oder Investoren von Ihrer Idee überzeugen möchten, wir finden für Sie kostengünstige Möglichkeiten.

Mikrofertigung sowie Prozessierung von Wafern: Präzisionstechnologie für Ihre Mikrosysteme

Wir bieten Ihnen eine breite Palette an Technologiedienstleistungen in der Mikrosystemtechnik. Sie können bei uns einzelne Prozessschritte auswählen oder die gesamte Technologiefolge in Auftrag geben. Unser Expertenteam übernimmt die Prozessierung der Wafer und organisiert die erforderliche Prozesskette zur Herstellung Ihres Mikrosystems.

Beratung im gesamten Produktentstehungszyklus: Ihr Erfolg ist unser Ziel

Als Technologie- und Ingenieurdienstleister sind wir nicht nur an Ihren aktuellen Projekten interessiert, sondern denken gemeinsam mit Ihnen langfristig. Im gesamten Produktentstehungszyklus stehen wir Ihnen mit unserer Expertise zur Seite. Wir bieten umfassende Beratung und Schulungen an. Selbstverständlich ist dabei der IP-Schutz Ihrer Ideen und Innovationen gewährleistet.

Auswahl unserer MikroTechnologien

Lithografie

UV-Lithografie
Nanoimprint-Lithografie  (UV-NIL)
Laser-Direktschreiben
Belackung

Nassätzen

Flusssäure (HF bzw. BOE)
KOH
Metallätzer

Trockenätzen

RIE
DRIE
Sputterätzen
HF-Dampf

Beschichten

PVD (Sputtern und Bedampfen)
Reaktivsputtern
LPCVD
PECVD (CCP & ICP)
Oxidation

Backend

Wafersäge
Drahtbonden
Thermo-kompressions-bonden
Löten

Analytik

Optische und taktile Profilometrie
REM
Ellipsometrie

Mikrosysteme in ihrem Auftrag

Wir sind Ihr zuverlässiger Partner für maßgeschneiderte Mikrosysteme. Von der Konzeption bis zur Fertigung begleiten wir Sie umfassend. Unsere Experten denken gemeinsam mit Ihnen für Ihren Erfolg.

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Das sagen unsere Kunden

Innovative Lösungen, technische Expertise und umfassende Unterstützung – 5microns ist Ihr verlässlicher Partner für Mikrosystemtechnologien. Das sagen auch unsere Kunden und unser Netzwerk.

Anke Siegmeier

OptoNet

“5microns ist eine sehr professionelle, solide, bodenständige und trotzdem junge und dynamische Firma mit hoher Dienstleistungsorientierung. Das hat alles immer Hand und Fuß, sehr verbindlich, sehr schnell – so habe ich das Team von 5microns kennengelernt.”

Dr. Frank Rottmann

Ingenieurbüro

“Die 5microns hat aus meiner Sicht den Riesenvorteil, dass sie auf der einen Seite den Think-Tank der TU Ilmenau im Rücken hat, dass sie sich auch dieses schöne Aufbruchfieber erhalten hat und den Zugang zu den Reinräumen besitzt. – Wenn ich eine modernere Mikrosystemtechnik-Realisierung suche, bin ich bei der 5microns GmbH bestens aufgehoben.“

Matthias Imboden

4K-MEMS Sàrl

“Wir hatten eine großartige Erfahrung mit 5microns. Dank ihres “Can Do”-Ansatzes wird die Arbeit zuverlässig erledigt, was bei der Entwicklung eines neuen Prozessablaufs unerlässlich ist. Sie sind professionell, flexibel und transparent, was uns in kurzer Zeit zu den gewünschten Ergebnissen geführt hat. Ich freue mich auf die weitere Zusammenarbeit mit 5microns in der Zukunft.”

Kontaktieren Sie uns noch heute

Dipl.-Ing. Lars Dittrich

5microns GmbH
Margarethenstr. 6
98693 Ilmenau
Deutschland

Tel.: +49 3677-799639-0
Fax: +49 3677-799639-1
E-Mail: kontakt@5microns.de