Die 5microns GmbH ist exklusiver europäischer Vertriebspartner der Gdnano Ltd., einem führenden chinesischen Hersteller von Anlagen für die Nanoimprint-Lithografie (NIL).

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Maximale Flexibilität mit der GD-N-03

Die GD-N-03 ist die ideale Maschine, um neue Applikationsfelder rund um die Nanoimprint-Lithografie zu erschließen. Die Anlage kann schnell und flexibel an wechselnde Substratgrößen und Stempeldurchmesser angepasst werden, sodass sie sich reibungslos in bestehende Prozessketten integriert. Das Funktionsprinzip – ganz nach dem Leitgedanken “keep it simple!” konzipiert – garantiert robuste Prozessabläufe mit hoher Wiederholbarkeit.

Die GD-N-03 ist eine UV-Soft-NIL-Anlage. Die Strukturen auf einem weichen Polymer-Stempel werden in einem vollautomatischen Abformprozess in den Lack übertragen. Die eingebaute UV-Lampe härtet den UV-Lack aus und überträgt so dauerhaft die Struktur vom Stempel in den UV-Lack. Das Soft-NIL-Verfahren ist gegenüber einzelnen Partikeln auf dem Substrat oder dem Stempel tolerant, da sich der Stempel elastisch verformen kann. Die Herstellung der Stempel gelingt ganz einfach mit Hilfe der mitgelieferten Werkzeuge hausintern. Das Verfahren ist schnell zu erlernen, sodass z.B. auch studentische Hilfskräfte in kurzer Zeit Erfolge erzielen.

Der Abformprozess selbst ist kinderleicht. Der Nutzer muss nur Belichtungsdauer und Anpressdruck einstellen. Das einfache Bedienkonzept der Anlage haben wir für Sie in diesem Video zusammengefasst:

Nicht nur die Nutzung der Anlage ist unkompliziert, sie stellt auch keine hohen Anforderungen an die Laborinfrastruktur: ein 230V-Netzanschluss und eine Druckluft- oder Stickstoffversorgung genügen. Und mit einer Standfläche von weniger als 1 x 1 m² findet sich in jedem Labor Platz für die GD-N-03.

Optische Ausrichtung mit der GD-N-03A

Die erweiterte Version der GD-N-03, die GD-N-03A, beinhaltet ein optisches Justagesystem, mit dem Sie den Stempel gezielt zu Elementen eines bereits strukturierten Substrats ausrichten können. Das optische System besteht aus zwei CCD-Mikroskopkameras mit bis zu 2000-facher Vergrößerung. Das Positionieren der Kameras relativ zum Stempel wird manuell vom Nutzer durchgeführt. Der Substrattisch wird standardmäßig ebenfalls über Feingewindestellschrauben vom Nutzer ausgerichtet. Wahlweise kann dies auch automatisiert mit Piezo-Antrieben erfolgen. Ist der Stempel fertig ausgerichtet, gleitet das Justagesystem zur Seite und macht Platz für die UV-Beleuchtungseinheit.

Hybrid-Stempel für höchste Auflösung

Mit der GD-N-03A können Sie auch die neu entwickelten hybriden Stempel nutzen, die das Abformen von kleinsten Strukturen ermöglichen. Der einzigartige, hybride Stempelaufbau verbindet die Vorteile von harten und weichen NIL-Stempeln. Die strukturtragende Schicht aus PDMS wird in einem einfachen Herstellungsprozess auf einem dünnen Glasträger hergestellt. Mit dem Hybrid-Stempel erhält man die von harten Stempeln bekannte, hohe Auflösung und mechanische Stabilität. Gleichzeitig ist der Hybrid-Stempel noch flexibel genug, um einen konformen Kontakt über das Substrat hinweg zu gewährleisten, und lokale Partikel haben keine Auswirkungen auf das gesamte Prozessergebnis. Auch die kostengünstige Replikation der Hybrid-Stempel von Mastersubstraten ist ein weiterer Vorteil.

Der hybride Aufbau vereint die Flexibilität der weichen Stempel mit der Auflösung der harten Stempel.

Technische Daten