Category Archive for: White Paper

Verbesserte Homogenität beim Tiefenätzen von Silicium-Wafern

Die 5microns GmbH beschäftigt sich mit der Entwicklung und Fertigung von Mikrosystemen im Kundenauftrag. Für Kunden entwerfen, entwickeln, charakterisieren und fertigen unsere MitarbeiterInnen Mikrosysteme von der Idee bis zur Serie. Dabei ist ein tiefgehendes Verständnis der Ätzprozesse zur Herstellung von Mikrostrukturen auf Silicium-Wafern unerlässlich. Deshalb startete die 5microns GmbH eine umfangreiche Versuchsreihe zur Untersuchung vertikaler…

Read More →

Paper elektrostatischer Mikrosensor

Die 5microns GmbH hat eine Publikation zu einem aktuellen Entwicklungsprojekt veröffentlicht. Der Beitrag wurde auf dem MikroSystemTechnik Kongress 2017 vorgestellt und befasst sich mit einem elektrostatischen Mikrosensor. Dieser dient der Zustandsüberwachung von homogenen binären Flüssigkeiten und misst u. a. die Konzentration von Ethanol in Wasser. → Mehr Informationen

White Paper zu MEMS-Tensiometer

Die 5microns GmbH hat ein White Paper zu einem aktuellen Entwicklungsprojekt veröffentlicht. Der Beitrag befasst sich mit einem MEMS-Tensiometer, das zur Messung der Oberflächenspannung von sehr kleinen Flüssigkeitsmengen (<< 10 µl) geeignet ist. Wesentliche Vorteile des Systems sind die hohe Messgenauigkeit, die kurze Messzeit, der vollautomatische aber dennoch simple Messaufbau und der hohe Messbereich. →…

Read More →

Back to Top