Die 5microns GmbH beschäftigt sich mit der Entwicklung und Fertigung von Mikrosystemen im Kundenauftrag. Für Kunden entwerfen, entwickeln, charakterisieren und fertigen unsere MitarbeiterInnen Mikrosysteme von der Idee bis zur Serie. Dabei ist ein tiefgehendes Verständnis der Ätzprozesse zur Herstellung von Mikrostrukturen auf Silicium-Wafern unerlässlich. Deshalb startete die 5microns GmbH eine umfangreiche Versuchsreihe zur Untersuchung vertikaler…