Hier finden Sie detaillierte Informationen zu Verbrauchsmaterialien für die UV-Nanoimprintlithografie. Klicken Sie auf die jeweiligen Buttons, um direkt zum gewünschten Abschnitt zu gelangen.
Selbstverständlich erhalten Sie bei uns auch UV-NIL-Lacke. Die Lacke können auf eine Vielzahl von Substratmaterialien (Silicium, Gläser, Metalle und Keramiken) aufgebracht werden und eröffnen somit ein breites Feld von Anwendungen. Eine Strukturauflösung bis hin zu 10 nm ist möglich. Die Lackdicke kann sehr genau mittels Schleuderbelackung von 25 nm bis 1500 nm eingestellt werden. Für die Lacke eignen sich Stempel aus PDMS oder XPDMS.
Strukturauflösung bis 10 nm
Geprägte UV-NIL-Lacke
Geprägte UV-NIL-Lacke
Standard-Lack"NIL-UV-Solid" und
schnell härtender Lack"NIL-UV-Fast" erhältlich
Geprägte UV-NIL-Lacke
Lackdicke von 25 nm bis 1500 nm
mit Schleuderbelackung
Geprägte UV-NIL-Lacke
Substratmaterialien:
Silicium, Gläser (Borofloat, Quarzglas),
Metalle und Keramiken
Geringe Restschichtdicke (residual layer thickness) bis 10 nm
Hohes Aspektverhältnis
Lackdicke mittels Aufschleudern zwischen 25 nm und 1500 nm einstellbar
Aushärten ohne Vakuum
Hohe Selektivität beim folgenden Ätzprozess
Geeignet für diese Stempelmaterialien: Silicium, Quarz, Nickel, NIL-Quick Stamp, PDMS und weitere Polymere
Geeignet für diese Substratmaterialien: Silicium, Quarz, Saphir, GaAs, InP, GaN, Ti, Au und weitere.
NIL-UV-Fast: Schnelles Aushärten
Niedrig-viskoser UV-NIL-Lack
Strukturtreue bis 10 nm
Schnelles Aushärten innerhalb von 5 Sekunden bei einer UV-Belichtung mit 350 W
Lackdicke mittels Aufschleudern zwischen 30 nm und 1400 nm einstellbar
Geringe Restschichtdicke (residual layer thickness) bis 10 nm
Hohes Aspektverhältnis
Hohe Selektivität beim folgenden Ätzprozess
Geeignet für diese Stempelmaterialien: Silicium, Quarz, NIL-Quick Stamp, PDMS und weitere Polymere
Geeignet für diese Substratmaterialien: Silicium, Quarz, Saphir, GaAs, InP, GaN, Ti, Au und weitere.
Master
Die für die Herstellung der weichen Stempel notwendigen Master können Sie ebenfalls über die 5microns GmbH beziehen. Gerne erstellen wir Ihnen ein Angebot für Ihren Master.
Silicium- und Quarzsubstrate
runde Substrate bis 6 Zoll, rechteckige bis 5 Zoll