Condition Monitoring mit elektrostatischen Mikrosensoren

Das vorgestellte Sensormodul dient der Konzentrationsbestimmung in einer homogenen binären Lösung (z. B. Ethanol-Wasser-Gemisch). Hauptbestandteil des Sensormoduls ist ein Mikrosensor, der interdigital strukturierte Elektroden besitzt. Diese bilden einen planaren Kondensator mit offenem Dielektrikum. Dadurch ist es möglich, die Permittivität einer Flüssigkeit zu bestimmen, die sich oberhalb des Kondensators befindet. Die gemessene Permittivität kann dann als Maß für die vorliegende Konzentration der Lösung genutzt werden.

→ H. Thiedke et al.: Condition Monitoring binärer Lösungen mit elektrostatischen Mikrosensoren, Konferenzbeitrag MikroSystemTechnik Kongress 2017, Oktober 2017

 

Haben wir ihr Interesse geweckt? Dann kontaktieren Sie uns: kontakt@5microns.de

Back to Top